★ 11월 11일(수) 조간부터 보도하여 주시기 바랍니다.

보도자료	울산과기대(UNIST)
<자료문의> ☎ 052) 217-2311 중앙기기센터 : 신현석 교수 052) 217-1141/4 기획국제교류팀 : 전만수 팀장/신은주
울산과기대-엘란 테크놀로지, 산학협력 추진 - 전자빔 리소그래피 장비 도입 및 공정 서비스 제공

□ 이공계 특성화 대학을 지향하는 울산과기대(UNIST, 총장 : 조무제)가 하이테크 장비 공급 전문업체인 엘란 테크놀로지(Elan Technology)와 산학협력을 통해 상호 윈(Win)-윈(Win) 체계를 구축하고 있다.

□ 울산과기대와 엘란 테크놀로지는 11월 10일 울산과기대 대학본부에서 엘란 테크놀로지 이상윤 사장, 울산과기대 정무영 부총장, 신현석 중앙기기센터장을 비롯해 관계자 30여명이 참석한 가운데 ‘전자빔 리소그래피(E-Beam Lithography) 장비 도입 및 공정 서비스 제공’을 위한 시험용역 계약을 체결(사진)했다.

○ 전자빔 리소그래피는 포토마스크를 통해 빛으로 감광재료(포토리지스트)에 노광하는 광(光)리소그래피와 달리 음극에서 방출되는 전자빔을 수십kV로 가속하면서 별도의 마스크를 사용하지 않고 나노미터 크기의 패턴을 제작할 수 있는 장치로 나노기술을 응용한 핵심 기술이다.

□ 울산과기대가 도입하는 전자빔 리소그래피는 수 나노미터 크기의 패턴 제작이 가능한 최고 수준의 장비로 ▲반도체 ▲NEMS(Nano Electro Mechanical Systems : 나노영역의 초소형 정밀 기계분야) ▲그린에너지 ▲생명공학에 이르기까지 다양한 분야에 지원이 가능하다.

□ 울산과기대는 이번 계약을 통해 엘란 테크놀로지로 부터 전자빔 리소그래피 장비를 활용한 디바이스 제작 공정 서비스와 장비 교육을 무상으로 지원받게 되었다.

○ 또한 엘란 테크놀로지는 울산과기대의 전자빔 리소그래피 장비를 유상으로 이용하여 나노, MEMS 디바이스를 제작 후 지역 내 대학 및 산업체 등에 제공할 예정이다.

□ 울산과기대 신현석 중앙기기센터장은 “울산과기대는 엘란 테크놀로지와의 산학협력을 계기로 보다 많은 산업체들과 활발한 기술 및 인력 교류를 통해 세계적인 이공계특성화대학으로 발판을 마련할 계획이다.”고 말했다.

□ 엘란 테크놀로지는 하이테크 장비의 국내 세일즈 및 제조, 나노 관련 공정서비스를 주력으로 하고 있는 회사로 당해의 매출액은 100억원을 목표로 하고 있다.

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