이공계 특성화 대학을 지향하는 울산과기대(UNIST, 총장 : 조무제)가 하이테크 장비 공급 전문업체인 엘란 테크놀로지(Elan Technology)와 산학협력을 통해 상호 윈(Win)-윈(Win) 체계를 구축하고 있다.
울산과기대와 엘란 테크놀로지는 11월 10일 울산과기대 대학본부에서 엘란 테크놀로지 이상윤 사장, 울산과기대 정무영 부총장, 신현석 중앙기기센터장을 비롯해 관계자 30여명이 참석한 가운데 ‘전자빔 리소그래피(E-Beam Lithography) 장비 도입 및 공정 서비스 제공’을 위한 시험용역 계약을 체결(사진)했다.
전자빔 리소그래피는 포토마스크를 통해 빛으로 감광재료(포토리지스트)에 노광하는 광(光)리소그래피와 달리 음극에서 방출되는 전자빔을 수십kV로 가속하면서 별도의 마스크를 사용하지 않고 나노미터 크기의 패턴을 제작할 수 있는 장치로 나노기술을 응용한 핵심 기술이다.
울산과기대가 도입하는 전자빔 리소그래피는 수 나노미터 크기의 패턴 제작이 가능한 최고 수준의 장비로 ▲반도체 ▲NEMS(Nano Electro Mechanical Systems : 나노영역의 초소형 정밀 기계분야) ▲그린에너지 ▲생명공학에 이르기까지 다양한 분야에 지원이 가능하다.
울산과기대는 이번 계약을 통해 엘란 테크놀로지로 부터 전자빔 리소그래피 장비를 활용한 디바이스 제작 공정 서비스와 장비 교육을 무상으로 지원받게 되었다.
또한 엘란 테크놀로지는 울산과기대의 전자빔 리소그래피 장비를 유상으로 이용하여 나노, MEMS 디바이스를 제작 후 지역 내 대학 및 산업체 등에 제공할 예정이다.
울산과기대 신현석 중앙기기센터장은 “울산과기대는 엘란 테크놀로지와의 산학협력을 계기로 보다 많은 산업체들과 활발한 기술 및 인력 교류를 통해 세계적인 이공계특성화대학으로 발판을 마련할 계획이다.”고 말했다.
엘란 테크놀로지는 하이테크 장비의 국내 세일즈 및 제조, 나노 관련 공정서비스를 주력으로 하고 있는 회사로 당해의 매출액은 100억원을 목표로 하고 있다.
