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‘밀어주고 부풀리면’ 단계적으로 완성되는 대면적 무결점 나노패턴

김소연 에너지 및 화학공학부 교수 공동연구팀, 나노패턴을 효과적으로 정렬시킬 전략 제시

패턴의 배향 정렬과 결함 제거를 순차적으로 진행 ... Science Advances 논문 게재

나노미터 크기의 규칙적인 구조인 나노패턴을 구현하는 기술은 반도체 소자, 광전소자 제조의 핵심 기술이다. 하지만 리소그래피(Lithography)와 같은 값비싼 공정에 의존하고 있어, 늘어나는 수요에 대응하기 위한 대안이 필요하다. UNIST 에너지 및 화학공학부의 김소연 교수팀은 KIST... 더보기