반도체공정 | UNIST News Center

원자 한 층 안에 제대로 섞는다!.. 박막 합금 증착 기술 개발

김수현 교수팀, ALM 기반 정밀 Pt·Ru 합금 박막 증착 기술 개발

반도체 공정, 전기화학 촉매, 센서 등 응용 가능… Adv. Sci. 논문 게재

서로 다른 금속을 원자 한 층 안에서 고르게 섞는 증착 기술이 개발됐다. 반도체 공정과 전기화학 촉매 등 다양한 분야에 쓸 수 있을 것으로 기대된다. 신소재공학과 김수현 교수팀(반도체소재·부품대학원 겸직)은 원자층 증착 (ALD, atomic layer deposition)을 개량한 원자층 변조법(ALM... 더보기

2025.07.03By 양 윤정연구

‘초소형 전자코’ 초저전력으로 가스 식별·농도 측정

나노기술·딥러닝 융합… 정밀한 가스 감지 실현

200마이크로 와트 이하 초저전력 작동, 효율성과 경제성 강화

초저전력으로 작동하는 초소형 전자코가 개발됐다. 공기질 모니터링, 건강 진단, 식품 안전, 환경 보호 등 다양한 분야 활용 가능성을 열었다. 기계공학과 신흥주 교수팀과 전기전자공학과 김재준 교수팀은 나노공정과 딥러닝 기술을 결합해 가스의 종류와 농도를 정밀하게 측정할 수 있는 전자코를 성공적으로 구현했다... 더보기

2024.08.27By 권익만연구