빔리소그래피 | UNIST News Center

10 nm(나노미터) 채널 반도체 소자 제조 기술 개발!

UNIST·美미네소타주립대, 원자층증착법으로 초미세 반도체 전극 패턴 제작

실리콘 반도체칩 대체하는 초소형 반도체칩 기술 등에 응용가능 .... ACS Nano 게재

손톱만한 반도체칩 안에는 최대 수십억 개의 미세소자(트랜지스터, 다이오드)가 들어있다. 이 미세소자는 여러 층의 재료 속에 그려진 패턴 형태로 존재한다. 패턴 제조를 위해서는 빔(빛)으로 모양을 그리는 공정이 필요한데, 최근 국제 공동 연구진이 고가의 빔 공정이 필요 없는 초미세 패턴 제조 기술을 개발해... 더보기