펨토초 | UNIST News Center

가시광선으로 반도체 소재에 미세패턴을 그려내다!

UNIST 권오훈 교수팀, 펨토초 레이저 활용한 차세대 광시야 포토리소그래피 개발

반도체 소재를 나노미터 수준에서 빠르고 자유자재로 조각 … Nano Letters 게재

최근 여러 반도체 기업들은 초미세 회로 패턴 공정을 위한 극자외선 노광 장비 선점에 전력을 다하고 있다. 이는 짧은 파장의 빛을 이용하면 반도체 기판에 더욱 미세한 회로와 패턴을 그릴 수 있고 소자의 면적을 줄일 수 있어 고성능·저전력 반도체 생산이 가능하기 때문이다. 그러나 극자외선 노광 장비가 가진... 더보기

2023.03.09By 우 종민연구

물질 원자 보는 현미경으로 다이아몬드의 빛 검출한다!

UNIST 권오훈 교수팀, 투과전자 현미경 기반 고해상도 음극선 발광 검출 기법 개발

와이드 밴드 갭 물질 나노 다이아몬드의 발광 특성 규명·나노 광소자 개발 도움... ACS Nano게재

원자를 보는 현미경으로 나노 다이아몬드가 내는 빛을 검출하는 분석법이 개발됐다. 나노 다이아몬드뿐만 아니라 실리콘을 대체할 차세대 반도체 소재들도 분석 가능한 기술이다. UNIST(총장 이용훈) 화학과의 권오훈 교수팀은 나노 다이아몬드와 같은 ‘와이드 밴드갭 물질’의 발광 특성과 물질 내 전하 입자 이동... 더보기

2022.01.03By 양 윤정연구