최근 여러 반도체 기업들은 초미세 회로 패턴 공정을 위한 극자외선 노광 장비 선점에 전력을 다하고 있다. 이는 짧은 파장의 빛을 이용하면 반도체 기판에 더욱 미세한 회로와 패턴을 그릴 수 있고 소자의 면적을 줄일 수 있어 고성능·저전력 반도체 생산이 가능하기 때문이다. 그러나 극자외선 노광 장비가 가진... 더보기
반도체는 회로의 선폭을 가늘게 만들수록 성능 향상에 유리하다. 단위 면적당 더 많은 소자를 집적할 수 있기 때문이다. 산업계에서는 선폭이 5nm 정도인 ‘5나노 반도체’가 최근 상용화에 들어섰다. 기초과학연구원(IBS, 원장 노도영) 다차원 탄소재료 연구단 이종훈 그룹리더(UNIST 교수)와 펑딩 그룹리... 더보기
차세대 전자소자의 새로운 소재 물질로 주목받고 있는 흑린(검은색 인)이 외부 빛에 반응해 주름(나노 주름)처럼 구겨지는 전 과정을 최초로 포착한 연구가 나왔다. 흑린은 꿈의 신소재라 불리는 그래핀을 잇는 2차원 소재로 주목받고 있다. 이번 연구는 흑린의 ‘나노 주름’에 의해 파생되는 전기적· 광학적 특성... 더보기
